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高精度温控退火炉的研制与控温程序的调试

梁玲 , 顾牡 , 许伟群 , 陈玲燕

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2002.04.021

晶体退火是一个重要的工艺过程,不同温度、不同气氛下的退火处理是晶体缺陷研究的重要手段.本文从退火炉的整体构造、管端配件的设计、控温电路和温度程序控制调节器的使用三个方面介绍了由同济大学玻耳固体物理研究所自行研制的小型高精度温控退火炉装置,并针对典型的晶体退火过程详细分析了温控系统中PID参数的选取和控温程序的调试工作.

关键词: 退火 , 可编程温度控制器 , PID调节