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各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面

郭志球 , 柳锡运 , 沈辉 , 刘正义

材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.01.023

本文介绍了一系列利用各向同性腐蚀法制备多晶硅绒面的试验,腐蚀液为硝酸和氢氟酸的混合溶液,添加了醋酸稀释液是为了降低反应速度.通过优化各种参数,获得了腐蚀速度平缓,适合工业生产的多晶硅绒面,绒面分布均匀.随着反应的进行,腐蚀坑由微裂纹状转变为气泡状,经反射率测定表明绒面达到了较好的减反效果.

关键词: 各向同性腐蚀 , 多晶硅 , 酸性腐蚀