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刻蚀转移掩蔽膜用单分散SiO2纳米小球制备

王影 , 王权岱 , 肖继明 , 王莉 , 李鹏阳

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2016.05.040

在无水乙醇中以氨作催化剂,正硅酸乙酯为硅源,通过传统溶胶-凝胶工艺制备单分散 Si O 2球形颗粒,通过扫描电子显微镜(SEM)进行研究各种反应条件正硅酸乙酯、氨和水的浓度、水解温度等对 SiO2小球颗粒大小和形貌的影响。结果显示,正硅酸乙酯、氨水浓度增加而SiO2小球粒径增大;去离子水量的增加而 SiO2小球粒径变小;温度升高团聚现象明显减少;陈化时间影响团聚,但团聚现象是可逆变化。讨论了 Si O 2小球颗粒在不同反应条件下的形成机理,以及由于Si O 2纳米小球的表面能高、稳定性差、使用中易产生团聚现象原因及解决的方法。

关键词: 单分散 , SiO2小球 , 制备 , 团聚现象

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