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抗蚀剂的研究进展

冯宗财 , 王跃川 , 王劲

材料导报

综述了紫外光曝光的抗蚀剂、电子射线抗蚀剂、X射线抗蚀剂、电沉积抗蚀剂的组成、成像原理和分辨率,并对几种高性能抗蚀剂的原理及用于抗蚀剂的新材料做了介绍.

关键词: 抗蚀剂 , 辐射固化 , 图形加工 , 印制电路