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图案化ZnO纳米线阵列制备与应用的研究进展

蒋雪梅 , 俎喜红 , 张政 , 黄海亮 , 易国斌

材料导报

综述了多种图案化制备ZnO纳米线阵列的技术,包括电子束光刻技术、纳米球蚀刻技术、激光干涉光刻技术、纳米压印技术和嵌段共聚物蚀刻技术等.介绍了图案化ZnO纳米线阵列在传感器、太阳能电池和UV检测器等功能器件中的应用进展,分析了图案化ZnO纳米线阵列制备与应用中的优点、意义及存在的问题,并展望了其未来发展趋势.

关键词: ZnO纳米线 , 图案化技术 , 阵列