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纳米非晶碳薄膜的制备及其场致电子发射特性

袁泽明 , 张永强 , 姚宁 , 张兵临

人工晶体学报

采用微波等离子体增强化学气相沉积(MPECVD)法,在涂有FeCl3的硅衬底上制备出了纳米非晶碳薄膜.通 过SEM、XRD和拉曼光谱分析了薄膜材料的形貌和结构.并研究了薄膜材料的场发射特性.结果表明:薄膜的开启电场仅为0.39 V/μm;当电场强度为1.85 V/μm时,电流密度高达3.06 mA/cm2;且场发射点均匀、密集、稳定.迭代法计算表明薄膜材料的功函数为3.1 eV,发射点密度约为1.7×105个/cm2.这些均表明该薄膜是一种性能优良的场发射阴极材料.

关键词: 纳米非晶碳 , 场致电子发射 , FeCl3 , 微波等离子增强化学气相沉积

硅纳米孔柱阵列的场致电子发射

富笑男 , 符建华 , 罗艳伟 , 李坤 , 程莉娜 , 李新建

功能材料

测试了用水热技术制备的硅纳米孔柱阵列(silicon nanoporous pillar array(简称Si-NPA))的场致发射性能.测试结果显示,Si-NPA的开启电场为约1.48V/μm;在5V/μm的外加电场下,其发射电流密度为28.6μA/cm~2;在外加电场4.4V/μm时,其电流浮动率为13%.Si-NPA发射性能增强的原因是由于其独特的表面形貌和结构所致.

关键词: 硅纳米孔柱阵列 , 场致电子发射 , 纳米硅 , 多孔硅

碳元素的另一种同素异形体——白碳

张兰 , 马会中 , 姚宁 , 张兵临

功能材料

白碳和金刚石、石墨这两种常见的碳的晶态结构不同,它是sp1杂化的碳元素的另一种晶态同素异形体.白碳具有一维直线碳链的特殊结构.本文对白碳材料的制备方法、结构特点、表征方法进行了综述,并展望了其在纳米器件、分子器件、以及场致电子发射等方面的应用前景.

关键词: 白碳 , 纳米器件 , 分子器件 , 场致电子发射

类石墨薄膜的场致电子发射研究

马会中 , 张兰 , 张俊杰 , 杜云海 , 姚宁 , 张兵临

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.04.002

利用脉冲激光烧蚀技术在硅衬底上制备了类石墨薄膜,以该薄膜为阴极进行了场致电子发射实验.当在阴阳极之间加电场后,两极之间出现了放电现象.放电之后,类石墨薄膜的阈值电场大大降低了.当电场为20 V/μm时,该薄膜的发射点密度可以达到105/cm2.利用Raman光谱、扫描电镜和X射线光电子谱对薄膜的表面形貌和微结构进行了测试.薄膜中的类石墨微结构对该薄膜的场致电子发射特性起了促进作用.场致电子发射实验显示类石墨薄膜作为冷阴极电子材料具有潜在的应用价值.

关键词: 场致电子发射 , 类石墨薄膜 , 聚酰亚胺 , 激光烧蚀

玻璃上低温沉积碳纳米管薄膜及其场发射研究

高金海 , 李桢 , 张武勤 , 张兵临

功能材料与器件学报

本文从事的研究是碳纳米管(CNT)薄膜的制备及场发射效果分析.在普通玻璃衬底上用磁控溅射方法镀上金属钛层,用含铁杂质的碳化硅微粒对钛层进行抛光.利用微波等离子体化学气相沉积法,在小于500℃衬底温度下快速制备出CNT膜.通过扫描电子显微镜、拉曼光谱,分析了薄膜的表面形貌和结构特性.通过二级管结构测试了聚晶膜的场致电子发射特性,对于制备的碳膜,在电场?时,最大场发射电流密度达?.并对其发射机理进行了研究.

关键词: 微波等离子体化学气相沉积 , 碳纳米管 , 场致电子发射

金刚石微米聚晶结构的生长及其场发射特性研究

高金海 , 张兰 , 姚宁 , 张兵临

功能材料

在覆盖金属钛层的陶瓷上,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱、X射线衍射,分析了薄膜的结构和表面形貌.测试了类球状微米金刚石聚晶膜的场致电子发射特性.开启电场仅为0.55V/μm,在2.18V/μm的电场下,其场发射电、流密度高达11mA/cm2.对类球状微米金刚石聚晶阵列形成机理和场发射机理进行了研究.

关键词: 微波等离子体化学气相沉积 , 场致电子发射 , 类球状微米金刚石聚晶

氮氧化铪薄膜在不同衬底上的场发射性能

王晓明 , 谢二庆 , 叶凡 , 段辉高 , 周明

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.04.021

利用直流溅射法在Si、Zn、Ni三种不同衬底上沉积HfNxOy薄膜并测试了其场发射性能.扫描电子显微镜(SEM)显示HfNxOy薄膜表面由纳米颗粒组成,X射线衍射(XRD)说明薄膜中含有HfN和HfO2两种相.场发射测试结果显示,和金属衬底上的薄膜相比,Si衬底上的薄膜的开启电场小且发射电流密度大.文中对三种衬底上发射电流密度大小不同的原因进行了讨论.电流一时间的对应关系说明HfNxOy薄膜的场发射电流稳定.

关键词: 直流溅射 , HfNxOy薄膜 , 场致电子发射

场致发射阴极材料的研究与进展

於黄中 , 彭俊彪

材料导报

场致发射显示器是一种新型的具有竞争力的平板显示器,场致发射阴极是场致发射显示器的重要组成部分.介绍了各种场致发射阴极材料及其特性,分析了场致发射机理及各种场致发射阴极材料最新进展,并简单讨论了场致发射材料国内外开发应用研究现状及差距.

关键词: 场致发射材料 , 阴极 , 场致电子发射

过渡层对类球状微米金刚石聚晶的场发射影响

张武勤 , 高金海

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2010.04.012

在陶瓷衬底上通过磁控溅射方法镀上金属Ti层后,改用CH4为溅射气体制备一层碳化物过渡层,利用微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)法制备出类球状微米金刚石聚晶薄膜.利用扫描电子显微镜、拉曼光谱和x-射线衍射分析了薄膜的结构和表面形貌.测试了类球状微米金刚石聚晶膜的场致电子发射特性,有过渡层制备的类球状微米金刚石聚晶膜的场发射开启电场仅为0.9 V/μm,在2.5 V/μm的发射电场下电流密度是10.8 mA/cm2,而无过渡层制备的类球状微米金刚石聚晶膜的开启电场为1.27 V/μm,在2.5V/μm的发射电场下电流密度是0.5 mA/cm2.实验结果表明,有碳化物过渡层的类球状微米金刚石聚晶薄膜的场发射特性效果更好.

关键词: 微波等离子体化学气相沉积 , 场致电子发射 , 类球状微米金刚石聚晶

球状微米金刚石的制备过程及其场发射性能的研究

高金海 , 张武勤 , 李桢 , 张兵临

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20163109.0877

在纯平的陶瓷衬底上面,利用磁控溅射方法镀上一层金属钛。对金属钛层进行表面缺陷处理后,放入微波等离子体化学气相沉积腔中,利用正交实验方法制备出场发射性能最优的薄膜,通过扫描电镜、X射线衍射仪、拉曼光谱仪等仪器,研究了薄膜的微观表面形态、结构组成等,得到了该薄膜是球状微米金刚石薄膜的结论。并进一步研究了最优场发射薄膜的发射机理。

关键词: 球状微米金刚石薄膜 , 场致电子发射 , 微波等离子体化学气相沉积

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