王和明
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蔡以超
,
杨曜源
,
东燕萍
,
王永杰
,
闫泽武
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2000.01.006
采用化学气相沉积方法成功地生长出硫化锌多晶红外光学材料.加工后的成品多晶硫化锌尺寸为直径150mm,厚度为6mm;既有曲面的整流罩,又有平面窗口,蒸镀多层防反膜.由于采用了自制的活性硫化氢为原料,以及较好的工艺生长条件,生长的硫化锌红外光学材料长波透射比达到理论值75%.镀多层防反膜以后,中、长红外波段透过率均有所提高,但镀膜技术还有待改进.文中对硫化锌的透过曲线进行了分析与比较,结果表明我们生长的硫化锌杂质较少,是红外透过率高的原因.文中还测试了硫化锌的其它主要性能.
关键词:
CVD
,
硫化锌
,
红外材料
,
块状多晶
,
红外光谱
