童六牛
,
高成
,
何贤美
,
李婷婷
,
邓朋
稀有金属
doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2015.04.005
采用射频(RF)磁控溅射方法,在2种基底温度(TS =25,310℃)的基片上制备了结构为Si(111)/NdFeCo(610 nm)/Cr(10 nm)的薄膜样品,溅射氩气压保持在pAr=0.1 Pa.采用X射线衍射仪(XRD)、场发射扫描电镜(FE-SEM)、振动样品磁强计(VSM)、原子力显微镜(AFM)和磁力显微镜(MFM)等实验技术,研究了一步和三步快速退火(RTA-Ⅰ和RTA-Ⅱ)工艺对两种薄膜微结构和磁性的影响.结果显示,室温基底上沉积的样品呈非晶态,磁畴为面内磁畴结构;而加热基底上制备的样品则析出了Nd2 Fe17和Nd6 Fe13 Si纳米晶,垂直磁各向异性(PMA)反常增强,垂直磁各向异性能为K⊥=1.18×105 J·m-3,磁畴为平行条纹畴.在TA =500℃经过RTA-Ⅰ/-Ⅱ工艺后,基底加热样品析出的Nd2 Fe17和Nd6Fe13Si纳米晶继续长大,磁畴由条纹畴转变为磁斑畴.而室温基底上制备的薄膜经RTA-Ⅰ/-Ⅱ退火后则没有观察到界面硅化物,却发现结晶出的FeCo和Nd2 Fe15 Co2纳米晶粒大小和取向敏感地依赖于退火工艺.即一步快速退火工艺有利于析出(111)织构的Nd2 Fe15 Co2纳米晶,而三步快速退火工艺则易于诱导出(200)织构的FeCo纳米晶.实验结果表明,基底加热薄膜中析出的Nd2 Fe17纳米晶与Nd6 Fe13 Si界面硅化物的热膨胀特性正好相反,由此产生的残余内应力与磁弹各向异性,是导致基底加热薄膜PMA反常增强的主要原因.
关键词:
NdFeCo薄膜
,
垂直磁各向异性
,
磁畴
,
快速退火热处理
覃东欢
,
力虎林
材料研究学报
doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2007.05.011
使用小孔径阳极氧化铝模板制备Fe0.3Co0.7纳米线有序阵列,研究了热处理对其磁性的影响.结果表明,热处理对Fe0.3Co0.7纳米线有序阵列的结晶度和局部形状各向异性有重大的影响,导致纳米阵列的矫顽力和剩磁比发生相应的变化.在适当热处理条件下获得的Fe0.3Co0.7纳米线有序阵列具有较高的矫顽力和剩磁比.在H2保护下550℃处理时获得最高的矫顽力2.63×105 A/m,矫顽力随着热处理时间的增加先是快速增加,然后趋向平缓,最后有一定程度的下降.
关键词:
金属材料
,
Fe0.3Co0.7纳米线
,
电化学沉积
,
垂直磁各向异性
张恩
,
冯春
,
李宁
,
王海成
,
滕蛟
,
王立锦
,
于广华
功能材料
利用磁控溅射方法,在加热的单晶MgO(100)基片上制备了以AlN为母体的FePt薄膜,再经过真空热处理后,得到了具有垂直磁各向异性且无磁交换耦合作用的FePt薄膜;同时,研究了掺杂AlN含量、薄膜的厚度及退火温度对薄膜的磁性能的影响.结果表明,非磁性相AlN的添加能够降低磁交换耦合作用,但同时也会破坏薄膜的垂直磁各向异性.降低薄膜厚度,有利于改善薄膜的垂直磁各向异性,FePt-AlN薄膜的厚度为6nm且掺杂AlN含量达到40%时,经650℃热处理1h后薄膜具有良好垂直磁各向异性、适中矫顽力且无磁交换耦合作用.
关键词:
磁记录介质
,
垂直磁各向异性
,
磁交换耦合作用
李晓其
,
徐晓光
,
张德林
,
包瑾
,
张国庆
,
姜勇
稀有金属
doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2010.03.005
使用磁控溅射方法制备了一系列Tb-Co2FeAl磁性薄膜,研究了两种不同溅射功率以及不同的薄膜厚度对样品的磁性的影响.采用交变梯度磁强计(AGM)对样品磁性能进行表征.结果显示,当Tb靶和CO2FeAl靶的溅射功率分别为5和15 W时,同时表现出平面内各向异性及弱垂直各向异性;而当功率分别为10和30 W时则表现出强垂直磁各向异性,垂直矫顽力Hc=3.3×104 A·m-1,且垂直矫顽力的值随着薄膜厚度降低也逐渐减小,当厚度减小到10 nm时,Hc=1×104A·m-1.
关键词:
垂直磁各向异性
,
垂直矫顽力
,
Tb-Co2FeAl薄膜
俱海浪
,
李宝河
,
刘帅
,
于广华
材料工程
doi:10.11868/j.issn.1001-4381.2015.11.004
通过JGP560A型磁控溅射仪制备了一系列以Ta/Pt为底层的Co/Ni多层膜样品,研究了多层膜中Pt缓冲层厚度、周期层中Co与Ni厚度以及多层膜周期数对样品反常霍尔效应和磁性的影响.结果发现:逐渐增厚的Pt层可以使样品的矫顽力增加,但是分流作用会导致样品的霍尔电阻降低,通过比较确定Pt缓冲层的厚度为2nm;磁性层中Co和Ni都处于一定厚度范围内时,多层膜的霍尔回线才能具有良好的矩形度,当厚度超出其特定范围时,多层膜的矩形度会变差,经过分析确定磁性层中Co和Ni的厚度为均0.4nm;磁性层的周期数对样品的性能也有着显著的影响,最终通过对周期数优化获得的最佳样品结构为Ta(2nm)Pt(2nm)Co(0.4nm) Ni(0.4nm) Co(0.4nm) Pt(1nm),该样品的霍尔回线矩形度非常好,霍尔信号明显,该样品总厚度在7nm以内,可进一步研究其在垂直磁纳米结构中的应用.
关键词:
Co/Ni多层膜
,
反常霍尔效应
,
垂直磁各向异性
