材料期刊网

塑料基体低温沉积ITO薄膜的研究

李世涛 , 乔学亮 , 陈建国

材料导报

综述了塑料基体低温沉积ITO薄膜国内外的最新研究现状,并指出了现在存在的问题,认为实现低温沉积、保证薄膜的光电性能和改善薄膜表面质量是3个关键技术.同时结合自己的研究工作,提出了相应的解决方法和建议.

关键词: ITO薄膜 , 塑料基体 , 低温