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多层结构声表面波滤波器的研究进展

李健雄 , 杨成韬 , 王锐 , 张树人

材料导报

无线通讯系统向高频率、高可靠性的发展要求声表面波滤波器(SAWF)同时具备高声速、高机电耦合系数、低插入损耗、高温度稳定性,而多层结构SAWF能够满足这些要求,因此多层结构SAWF近年来引起了人们极大的关注,并取得了较大的进展.简述了SAWF的基本结构和原理,回顾了近年来多层结构SAWF的研究进展,包括理论研究和实验研究,展望了其今后的发展趋势.

关键词: 多层结构 , 声表面波滤波器 , 压电薄膜 , 金刚石