材料期刊网

共溅射与多层膜溅射制备FePt:Ag颗粒膜的微观结构比较

程晓敏 , 李佐宜 , 王建平

稀有金属材料与工程

采用共溅射和多层膜溅射两种不同的溅射方式制备FePt:Ag颗粒膜.MFM和TEM微观结构观测的结果表明:与多层膜溅射制备的FePt:Ag颗粒膜相比,共溅射制备的颗粒膜具有更小的磁畴尺寸和晶粒尺寸,并且其磁畴和晶粒的分布更加均匀.这种微观结构上的区别可解释为共溅射制备的颗粒膜中Ag原子的分布更加具有随机性.对薄膜内部缺陷的研究进一步证实了该解释.

关键词: FePt:Ag颗粒膜 , 微观结构 , 共溅射 , 多层膜溅射