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多层流延坯片的叠层工艺研究进展

周丹 , 王少洪 , 侯朝霞 , 王美涵 , 胡小丹 , 牛厂磊

兵器材料科学与工程 doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2012.04.029

流延坯片的叠层是多层陶瓷技术中最为重要的工艺之一.叠层工艺直接影响到电子器件三维结构(如通道、腔室及隔膜等)的质量.对叠层工艺如热压法叠层及其改进型技术、粘合基叠层、溶剂基叠层等进行综述,并对各种叠层方法的特点、研究进展及应用进行叙述.

关键词: 流延坯片 , 叠层 , 多层陶瓷技术 , 三维结构 , 应用