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我国多晶硅铸锭坩埚的现状与发展

李贵佳

硅酸盐通报

本文总结了我国多晶硅锭坩埚生产现状,指出熔融石英材质坩埚仅能一次性使用,可反复使用的坩埚是发展方向,介绍了国内外可反复使用坩埚的主要生产技术.

关键词: 多晶硅锭 , 坩埚 , 熔融石英 , 反复使用

多晶硅锭定向凝固过程的温度场模拟

蔡莉莉 , 冯翠菊 , 王会彬

材料科学与工程学报

采用数值模拟方法研究了不同的工艺条件对多晶硅锭定向凝固过程中固液界面形状和温度梯度的影响,为优化多晶硅凝固过程的参数和有效控制定向凝固过程提供了参考依据.模拟结果表明,降埚速率越大,晶体生长速率越快,硅锭内温度梯度也随之增加,当降埚速率小于60mm/h时,固液界面始终保持凹界面;保持一定的降埚速率和...

关键词: 多晶硅锭 , 数值模拟 , 温度梯度 , 固-液界面

多晶硅锭的制备及其形貌组织的研究

刘秋娣 , 林安中 , 林喜斌

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2002.06.002

研究了采用定向凝固法制备多晶硅锭的凝固速率与表面形貌、晶粒尺寸以及显微组织缺陷的关系. 找出了晶锭不出现细晶的临界生长速度, 并对固液界面形状进行了探讨. 多晶硅锭的制备工艺主要包括定向凝固法及浇铸法. 采用定向凝固法制备多晶硅锭, 通过改变降埚速率控制晶体生长速度, 进而找出晶粒大小与降埚速率的关...

关键词: 定向凝固 , 多晶硅锭 , 显微缺陷

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多晶硅锭定向凝固过程的温度场模拟

多晶硅锭的制备及其形貌组织的研究

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