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Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的X射线面探扫描分析

杨帆 , 费维栋 , 高忠民 , 蒋建清

功能材料

根据在X射线二维衍射几何关系下建立的应力应变方程,提出了一种基于X射线多晶面探衍射仪系统分析射频磁控溅射制备的Pb(Zr,Ti)O3薄膜微区残余应力的测量方法,即通过基于X射线衍射圆锥形变的分析来表征薄膜的残余应力,试验结果表明薄膜所受为残余拉应力,同时利用X射线面探扫描方法评价了薄膜的残余应力分布.

关键词: Pb(Zr,Ti)O3薄膜 , X射线二维衍射 , 多晶面探衍射仪 , 残余应力