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带隙可调的宽禁带半导体MgxZn1-xO薄膜研究进展

李春 , 方国家 , 赵兴中

功能材料

MgxZn1-xO薄膜是一种新型宽禁带半导体薄膜,在兼顾ZnO、MgO材料性能的同时,具有带隙连续可调的特点,近年来逐渐成为半导体光电功能材料与器件的研究热点之一.本文从MgxZn1-xO薄膜的基本特性、制备方法、应用研究等方面进行了分析和评述,并对其应用前景进行了展望.

关键词: MgxZn1-xO薄膜 , 宽禁带 , 半导体 , 发展前景

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