欢迎登录材料期刊网
姜恩永 , 刘晖 , 刘明升 , 林川 , 孙多春
材料研究学报
用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料.卢瑟福背散射分析结果表明,铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化.在薄膜中有ζ-Fe2N,ε-FexN(2 关键词: 对向靶溅射 , null , null , null
关键词: 对向靶溅射 , null , null , null
刘裕光 , 姜恩永 , 程启 , 孙长庆
金属学报
利用对向靶溅射（ＦＴＳ）沉积出（１１１）择优取向的单相ＴｉＮ膜，膜硬度（ＨＶ）最高可达３８００，择优取向随基板偏压增高，可由（１１１）转向（２００），晶格常数随氮气分压增高而增大，这是氮原子进入四面体间隙引起的。
关键词: ＴｉＮ薄膜 , facing targets sputtering , texture cofficident
