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具有渐变层半导体DBR的MOCVD外延制备

盖红星 , 邓军 , 廉鹏 , 俞波 , 李建军 , 韩军 , 陈建新 , 沈光地

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.03.009

应用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)制备了具有渐变层的半导体布拉格反射镜(DBR),分别是抛物线性、线性和突变结构的DBR.三种反射镜结构都设计为8个周期,通过白光反射谱测量突变DBR具有最大反射率.应用原子力显微镜对所制备的DBR表面形貌进行分析.结果表明,相同周期数情况下线性渐变DBR相对于其他两种结构粗糙度最小,具有良好的表面形貌,可以应用于垂直腔面发射激光器的研制.

关键词: 布拉格反射镜 , 金属有机化合物气相淀积 , 原子力显微镜 , AlGaAs

800nm布拉格反射镜型半导体可饱和吸收镜

王勇刚 , 马骁宇 , 王屹山 , 赵卫 , 曹士英 , 张志刚 , 王清月

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2004.05.010

我们在国内首先研制成功波长为800nm附近布拉格反射镜型半导体可饱和吸收镜.用布拉格反射镜型半导体可饱和吸收镜作为自启动装置,我们实现了氩离子激光器泵浦的钛宝石激光器被动连续锁模,获得了连续锁模脉冲序列,重复频率在100MHz到200MHz.

关键词: 激光技术 , 半导体可饱和吸收镜 , 布拉格反射镜 , 被动连续锁模 , 钛宝石激光器

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