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利用异醇铝溶液的燃烧化学沉积纳米α-Al2O3膜

张增志 , 许海凤 , 韩桂泉 , 张利梅

材料科学与工艺 doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2005.04.022

提出了直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜的新方法--燃烧化学沉积法.以沉积α-Al2O3为例,通过完全燃烧计算、初始液体雾化试验和燃烧温度及质量密度试验,确定了燃气、易燃溶剂种类及雾化喷口尺寸和压力.用该参数在Ni-Al合金上沉积出纳米α-Al2O3薄膜,并用二次加热法进行了晶化处理.研究表明:用上述方法能够成功地制备完整的纳米α-Al2O3薄膜.

关键词: α-Al2O3纳米薄膜 , 异醇铝溶液 , 雾化 , 燃烧化学沉积