张铭
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何家文
中国有色金属学报
首先用Kroner模型计算了具有丝织构的TiN薄膜的弹性矩阵。 当材料具有较强的丝织构时, 材料弹性矩阵的对称关系将发生变化, 得到的弹性矩阵与各向同性同种材料的弹性矩阵相差很大, 相同分量的值一般相差在13~20 GPa之间。 然后计算了TiN薄膜的弹性常数曲线随ψ角的分布。 当应力测试方向不同时, 即使是同一晶面, 弹性常数也会产生差异, 而且弹性常数随ψ角的分布在低ψ角区发生了弯曲。 计算的TiN薄膜X射线弹性常数曲线的弯曲情况与实测的PVD TiN薄膜应力测试曲线相似。
关键词:
弹性矩阵
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丝织构
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薄膜
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X射线衍射