李昂
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王庆国
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王腾
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王妍
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成伟
兵器材料科学与工程
为研究薄膜材料在强电场激励下的相变特性,采用直流磁控溅射工艺在硅衬底表面制备厚度不同的二氧化钒薄膜,搭建基于静电高压源和铜质电极夹具的材料相变特性测试系统.通过改变外施电场强度,研究薄膜材料的场致相变特性.结果表明:外施场强达到600 kV/m左右时,材料表现出明显的绝缘态-金属相变(MIT)特性;外施场强达到700kV/m时,材料电导率的变化幅度超过2.6个数量级,且远未达到饱和,随外场继续增加仍有很大上升空间.
关键词:
二氧化钒薄膜
,
磁控溅射
,
强电场环境
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场致相变
,
电导率
