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Effect of Deposition Temperature on Dynamics and Mechanism of Deposition for Si-B-C Ceramic from BCla/SiCH3Cl3/H2 Precursor

材料科学技术（英文）

关键词: 沉积温度 , 化学成分 , 动力学 , 机理 , 陶瓷 , 沉积速率 , 形态学变化 , 微观结构

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