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混合集成型光学拾音器的设计与制作

刘畅 , 杨立新 , 陈学良

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2002.02.012

通过混合集成型结构光学拾音器的光学设计和芯片设计,制作了包含微光学棱镜、光电探测器和信号放大电路的混合集成型光学拾音器.经过测试,发现有较好的信号输出特性,表明混合集成型光学拾音器已基本研制成功.

关键词: 混合集成型光学拾音器 , 微光学棱镜 , 光电探测器 , CMOS集成电路

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