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微型夹钳的最新研究

王晓东 , 刘冲 , 王立鼎

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.01.001

微型夹钳技术是微机电系统研究的重要内容,应用于微装配等领域,在微机电系统的研究及微型产品的研制开发中发挥着重要的作用.本文选取微型夹钳技术最新研究中有代表性的成果进行了回顾,对微型夹钳的结构材料、制作工艺和工作原理等进行了分析,介绍了微型夹钳的最新研究进展,概括了研究特点及发展趋势.

关键词: 微型夹钳 , 微装配 , 微机电系统 , 微系统技术