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热驱动微型泵的实验研究

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.001

本文对热驱动微型泵在空载和有负载(即泵送液体)情况下的性能进行了实验研究.空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓,振幅变化也将减缓.实验测定了有负载情况下泵的频...

关键词: 微型机械 , 微型泵 , 传热 , 流动

热驱动薄膜式微型泵的效率研究

徐宁 , 胡桅林 , 过增元

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.003

微型泵在生物化学分析、药物输送和芯片冷却等领域有广阔的应用前景。为了确定热驱动薄膜式微泵达到最大工作效率的工作条件，对泵的温度响应和振动响应进行数值模拟，分别得到五种加热功率下微泵的流率－频率曲线，效率－频率曲线以及微泵的最佳效率曲线。发现微泵的流率在 4～ 5Hz达到最大，当加热功率大于...

关键词: 微型泵 , 效率 , 优化 , 模拟

基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵

张涛 , 吴一辉 , 张平 , 刘永顺 , 于震雷

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.022

基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵.微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜.电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整...

关键词: 微机械 , 微型电磁驱动器 , 微型泵 , 集成磁性薄膜

一种用于FIA系统的微型泵

丁辛芳 , 刘岩海 , 刘新宁 , 何云爽

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.01.002

介绍了一种FIA（FlowInjectionAnalysis－流动注入分析）系统中的部件—微型振膜泵。该微型泵体采用无阀式的扩散管/喷嘴结构，由电磁—机械方式驱动振膜的振动，用干电池作电源。实验数据表明，该泵可在0～1.5ml/min（液体）流量范围内工作稳定，并具有结构简单、流量易于控制以及利于批...

关键词: 微型泵 , FIA系统 , MEMS

热驱动薄膜式微型泵的模拟与实验

尹执中 , 胡桅林 , 过增元

工程热物理学报

为了了解热驱动薄膜式微型泵的性能,对泵的主要部件进行了分析,然后对泵的整体性能进行了模拟.得到了微型泵的频率特性及流量随功率的变化.发现泵的流量在3.3Hz左右达到最大.膜片的预应力对泵的性能有重要影响.功率小时,预应力使流量降低,功率大时,预应力使流量增加,泵的流量与输入功率的比值与输入功率的关系...

关键词: 微型泵 , 传热 , 模拟

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热驱动微型泵的实验研究

热驱动薄膜式微型泵的效率研究

基于MEMS工艺的电磁驱动无阀微泵

一种用于FIA系统的微型泵

热驱动薄膜式微型泵的模拟与实验

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