尹执中
,
徐宁
,
庞江涛
,
刘理天
,
胡桅林
,
过增元
,
金观昌
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.001
本文对热驱动微型泵在空载和有负载(即泵送液体)情况下的性能进行了实验研究.空载情况下,在所测频率范围内,膜片的振幅随频率减小,但泵腔的体积变化率随频率基本不变;随着加热功率的增加,膜片平衡位置逐渐远离其静止位置,当功率足够大时,膜片平衡位置的变化将减缓,振幅变化也将减缓.实验测定了有负载情况下泵的频率特性,对应于最大流量的频率为3Hz;实测了流量随加热功率的变化,当功率较小时,流量缓慢变化,当功率较大时,流量迅速增大.
关键词:
微型机械
,
微型泵
,
传热
,
流动
徐宁
,
胡桅林
,
过增元
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2001.02.003
微型泵在生物化学分析、药物输送和芯片冷却等领域有广阔的应用前景。为了确定热驱动薄
膜式微泵达到最大工作效率的工作条件，对泵的温度响应和振动响应进行数值模拟，分别得到五种
加热功率下微泵的流率－频率曲线，效率－频率曲线以及微泵的最佳效率曲线。发现微泵的流率在
4～ 5Hz达到最大，当加热功率大于 2W时，微泵的流量不再显著增加；微泵在加热功率为 1W时的效
率最大，最佳工作条件是加热功率 1W、加热频率 5Hz，此时微泵的效率为 32.54μ l/min· W。
关键词:
微型泵
,
效率
,
优化
,
模拟
张涛
,
吴一辉
,
张平
,
刘永顺
,
于震雷
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.022
基于实现主动微流体芯片的目的,提出了一种非闭合磁路型电磁驱动无阀微泵.微型电磁驱动器采用硅深刻蚀和微电铸工艺制作在硅基体上,微泵泵体的收缩/扩张单元采用微机械工艺制作,采用两步注塑工艺加工磁性PDMS(polymethylsiloxane)振动膜.电磁微泵样机的实验结果显示:该微泵的工作性能稳定,整机具有较高的体积功能比,样机尺寸32mm×28mm×10mm,在0.6A电流输入,工作频率为13Hz时,流量可达180μl/min,零流量下的最大背压达2.75mbar.
关键词:
微机械
,
微型电磁驱动器
,
微型泵
,
集成磁性薄膜
尹执中
,
胡桅林
,
过增元
工程热物理学报
为了了解热驱动薄膜式微型泵的性能,对泵的主要部件进行了分析,然后对泵的整体性能进行了模拟.得到了微型泵的频率特性及流量随功率的变化.发现泵的流量在3.3Hz左右达到最大.膜片的预应力对泵的性能有重要影响.功率小时,预应力使流量降低,功率大时,预应力使流量增加,泵的流量与输入功率的比值与输入功率的关系曲线有最大值,约在1.2～1.8W之间.实验测定了微型泵的频率和功率特性,模拟结果与实测结果基本吻合.
关键词:
微型泵
,
传热
,
模拟
