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CVD金刚石膜/硅为基板的微条气体室性能研究

张明龙 , 夏义本 , 王林军 , 顾蓓蓓 , 杨莹 , 汪琳

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.013

提出了一种新型的CVD金刚石膜/硅(p～1010Ω·cm)为基板的微条气体室,阳极宽度7μm,阴极100 μm,间距200 μm.室温下,充以1.01×10-5Pa Ar+CH4混合气体时,采用5.9 keV 55FeX射线测量了探测器在不同高压和气体比例时的脉冲高度分布,详细讨论了高压和气体比例对能量分辨率的影响,结果表明该探测器具有较高的信噪比和能量分辨率.在Ar+10%CH4混合气体、-1100 V漂移电压和-650 V阴极电压工作条件下,微条气体室能量分辨率可达12.2%.

关键词: 微条气体室 , 气体探测器 , CVD金刚石膜 , X射线

微条气体室探测器

王林军 , 夏义本 , 张明龙 , 廖志辉 , 居建华

量子电子学报 doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2002.05.002

本文从多丝正比室(MWPC)特点出发,详细介绍了MSGC的工作原理、结构设计原理、结构参数(包括衬底材料、微条材料、工作气体)的选择依据以及应用前景,并报道了MSGC的最新研究进展.

关键词: 微条气体室 , 成像 , X射线探测器

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