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AAO纳米光栅结构参数对薄膜硅太阳能电池光吸收的影响研究

王旭 , 张海明 , 杨金梅 , 秦飞飞 , 王彩霞

人工晶体学报

以多孔氧化铝(AAO)为模板设计了一种新型的纳米光栅背反射结构.采用微波工作室(CST MWS)软件对该结构进行仿真,研究AAO模板的孔径大小、孔径深度和占空比对薄膜硅太阳能电池光吸收的影响.仿真结果表明,以AAO为模板制备的新型背反射结构能够有效地延长光的传播路径,增加长波长光子的吸收.当孔径大小为157.2 nm,孔深为78.6 nm,占空比为0.5时,效果最佳.这与理论的计算结果相一致.

关键词: 多孔氧化铝 , 衍射光栅 , 微波工作室 , 占空比

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