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微波PCVD法大尺寸透明自支撑金刚石膜的制备及红外透过率

李博 , 韩柏 , 吕宪义 , 李红东 , 汪剑波 , 金曾孙

新型炭材料

采用微波PCVD方法制备出直径50mm膜厚300um的大尺寸透明自支撑金刚石膜.在甲烷体积分数2%的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm-1-4000cm-1红外波段范同内红外透过率达到70%,但是其生长速率只有1um/h-2um/h.在体积分数4%甲烷浓度下制备的自支撑透明金刚...

关键词: 微波PCVD , 透明自支撑金刚石膜 , 红外透过率