赵新
,
王凯
,
卢桂章
,
谭宜勇
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.04.015
虚拟运行是MEMS器件运行规律的图形化展示,虚拟运行的基础是器件动态模型.首先分析了微泵的静态模型.以有限元分析数据为起点,获得了膜片静态模型.随后给出了阀片的静态模型,得到变形解析表达式且只包含压力变化量.然后以静态模型为基础,从分析微泵运行机制入手,从并不充分的实验数据中得到微泵的动态运行规律....
关键词:
MEMS
,
微泵
,
动态模型
,
有限元计算
,
曲线拟合
,
参数辨识
,
虚拟运行
陈荣
,
王文
工程热物理学报
介绍了新颖的双腔结构静电柔性振膜型微泵及其工作原理.运用最小能量思想和挠度试解方法,建立了双腔静电振膜型微泵的理论分析模型.计算并讨论了驱动电压、振膜厚度、介电层厚度对微泵压缩性能的影响.计算结果表明双腔结构微泵相比单腔结构微泵,性能上有显著提高.理论模型和计算分析结果为静电柔性振膜型微泵的设计和制...
关键词:
微泵
,
静电
,
振膜
,
最小能量
王瑞金
,
楼少敏
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.03.020
利用外磁场及其运动控制微机电系统中的磁流体的运动,成功地设计了磁流体微泵,试验表明:磁流体微泵的输出压力最高达到1180 Pa,输出流量最大可达50μl/min,磁场转速和输出压力、输出流量的在低转速时几乎线性关系,但超过一定的转速,输出流量和压力将迅速下降.为微机电系统提供可靠的驱动元件.
关键词:
微机电系统
,
磁流体
,
微泵
,
旋转磁场
邱成军
,
曲伟
,
刘红梅
,
赵全亮
,
卜丹
,
曹茂盛
材料科学与工程学报
doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2007.06.009
采用溶胶-凝胶法(sol-gel)制备技术制作了Pb(Zr,Ti)O3(PZT)压电薄膜,并以PZT薄膜为驱动制作了微泵.采用了V型微阀的微泵主要利用PZT的压电效应.针对微泵的关键结构--复合驱动膜,探索了一种Si/SiO2/Ti/Au/PZT/Cr/Au多层驱动膜结构制备方法,解决了在硅基底上制...
关键词:
PZT薄膜
,
溶胶-凝胶法
,
各向异性刻蚀
,
微泵
,
MEMS
陈鹿民
,
王晨
,
王才东
,
史波
,
郭东杰
功能材料
doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.06.013
以DowCorning 186硅橡胶为介电弹性体(DE)基底膜,以精细Ag纳米颗粒和导电石墨掺杂的硅橡胶为电极,组装了不对称DE电致动膜.两电极膜存在显著的力学性能、导电性能差异,其厚度、模量、面电阻分别为96.8 μm、26.6 MPa、8.42 kΩ/cm2和179.3 μm、32.6 MPa、...
关键词:
电活性聚合物
,
绝缘弹性体
,
硅橡胶
,
微泵
,
有限元分析
姚晓波
,
夏再忠
,
过增元
工程热物理学报
本文利用数值模拟的方法,研究了微细管道中流体无相变情况下,加入移动热源对流体流场的影响,从理论上证明了移动热源驱动流体定向流动的可能性,并且从物理机制上进行了分析.本文在分析流体参数随时间变化时,着重分析了移动热源大小对泵送功能的影响.
关键词:
热驱动
,
移动热源
,
微泵
