材料期刊网

应用超声分离微纳米颗粒的微型装置的设计与微制造

杨慧 , 郭航

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.01.056

本文在对一种新的应用超声分离微纳米颗粒的微型装置进行设计并完成其微制造过程的基础上,分析了装置特性,重点研究了运用此装置进行微纳米颗粒分离时微粒的受力情况.文中首先给出了微粒在流体中受力的一维解析模型,讨论了影响作用于微粒的超声辐射力的因素,并通过有限元方法软件ANSYS对微型超声装置的振动模式及共振频率进行了研究,分析了微粒分离时装置中的声场与流场.在这些分析的基础上,计算得出了微型装置在不同工作模式下处于不同介质中行的多种微粒的受力情况.

关键词: 微粒分离 , 超声方法 , MEMS器件