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应用于MEMS的PZT铁电薄膜

于晓 , 张之圣 , 胡明

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2005.01.004

薄膜制备工艺的发展使铁电薄膜很好的应用于MEMS,使两者集成成为可能.本文将详细论述铁电薄膜的优良性能,及其与MEMS集成的关键工艺-图形化.最后,举例论述了PZT铁电薄膜在MEMS中的应用.

关键词: MEMS , 铁电薄膜 , PZT , 微细加工技术 , 图形化