黄红光
,
郭钟宁
,
王冠
表面技术
目的 研究HNO3浓度、喷淋压力、掩膜间隙、加工时间对侧蚀量的影响规律.方法 设计正交实验,测定蚀刻后的侧蚀量,采用极差分析、方差分析法对侧蚀量进行分析,通过验证性实验进行验证.结果 侧蚀量随加工时间的延长以及喷淋压力、加工时间的增大而增大,随HNO3浓度的增大而减小.侧蚀量最小的工艺是:HNO3浓度为1.8 mol/L,喷淋压力为0.2 MPa,掩膜间隙为50 μm,蚀刻时间为2min.结论 加工时间对侧蚀量有显著性影响,喷淋压力对侧蚀量影响较大,其次是掩膜间隙和HNO3浓度.验证性试验证明最优工艺方案可行.
关键词:
模具钢
,
微细蚀刻
,
侧蚀量
,
正交实验
宋卿
,
于兆勤
,
王冠
,
郭钟宁
,
黄红光
腐蚀学报（英文）
对掩膜处理的模具钢进行喷淋微细蚀刻,观测表面微观结构,分析掩膜间隙尺寸、喷淋压力对侧蚀量的影响.实验表明,随着掩膜间隙尺寸的增大,侧蚀量增大,这是因为微结构凹坑内部蚀刻液的滞留和对O2阻碍作用,造成了不同部位蚀刻速率不同,发生侧蚀;喷淋压力增大也导致侧蚀量增加,因为较大压力下蚀刻液的侧向蚀除力大,侧向蚀除作用强,同时蚀刻液更新频率快,反应速率提高,侧蚀增大.在微细蚀刻加工中合理地选择掩膜间隙尺寸,控制加工时间和喷淋压力,可以较好地控制侧蚀,保证较高的加工尺寸精度.
关键词:
微细蚀刻
,
侧蚀
,
间隙尺寸
,
喷淋压力
宋卿
,
张永俊
,
于兆勤
,
王冠
表面技术
目的 研究模具钢微细蚀刻中,蚀刻速率的变化规律.方法 采用蚀刻液喷淋加工方式,对掩膜的模具钢表面进行蚀刻,考察掩膜间隙、蚀刻液喷淋压力、蚀刻液温度对蚀刻速率的影响. 结果 蚀刻速率随掩膜间隙尺寸的增大而增加,当掩膜尺寸大于150μm时,蚀刻速率增长较快;较大的喷淋压力有利于蚀刻液的更新和蚀刻产物的排除,使得蚀刻反应充分,蚀刻速率较高;温度在一定范围内升高,蚀刻液活性增大,蚀刻效率提高,蚀刻速率增大.结论 最佳工艺条件为:掩膜间隙尺寸150 ～ 200 μm,蚀刻液喷淋压力1.0～1.4MPa,蚀刻液温度35～ 40℃.在此加工条件下,模具钢的蚀刻速率高,加工效率高,同时可以保证较好的蚀刻尺寸精度.
关键词:
微细蚀刻
,
模具钢
,
蚀刻速率
