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基于多层SU-8结构的微喷阵列芯片的制作与应用研究

许宝建 , 金庆辉 , 赵建龙

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.05.004

采用光刻胶SU-8的光刻成型技术和"多次光刻、一次显影"工艺制备了基于三层SU-8结构的微喷阵列芯片,重点研究了SU-8胶工艺过程中平整度、温度和曝光剂量对多层微结构的影响,解决了芯片结构有裂纹、发生破裂和喷孔堵塞等问题.利用O2等离子体处理了芯片微管道内表面,使液体样品在进样后能够进行自动传输、分...

关键词: SU-8光刻胶 , 微喷阵列芯片 , 微阵列 , 表面处理

AlGaInP-LED微阵列单元侧反射对出光效率的影响

包兴臻 , 梁静秋 , 梁中翥 , 田超 , 秦余欣 , 王维彪

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20132805.0726

LED微阵列器件具有体积小、分辨率高、寿命长及耗能低等突出特点.出光效率是该器件的一项重要参数,文中对以AlGaInP外延片为基片的LED微阵列器件的出光效率进行了理论及实验研究.器件的像素周期设计为100 μm×100μm,发光单元间的上隔离沟槽宽度为20 μm、深度为25 μm,将在600～65...

关键词: 聚酰亚胺复合膜 , 出光效率 , 反射率 , 微阵列

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