欢迎登录材料期刊网
路庆华 , 赵小林 , 朱子康 , 王宗光
功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2000.02.008
采用感光性聚酰亚胺和高粘附性聚酰亚胺双层刻蚀技术,在基片上制备了微马达线圈的定子绕组.该工艺不仅工艺简单,而且保留聚酰亚胺作为线圈的绝缘层,提高了微马达线圈的绝缘性能和耐热性能,使微马达的整体性能得到了提高.
关键词: 微马达 , 聚酰亚胺 , 无电解电镀 , 线圈绕组
