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万之坚 , 李海峰 , 黄勇 , 张厚兴 , 张立明 , 许颖 , 王文静
稀有金属材料与工程
选用Al2O3陶瓷作为衬底,采用快速热化学法沉积多晶硅薄膜.实验研究了温度对薄膜生长的影响,结果表明,硅层的沉积速率随着温度升高而加快,并逐渐趋向1个稳定值.晶粒尺寸也随着温度升高而增大,在温度达到1000℃后保持不变.在此硅薄膜上,采用磷扩散掺杂,制备出太阳能电池器件,并且分析了掺杂量对电池效果的影响.
关键词: 太阳电池 , 多晶硅薄膜 , 快速热化学气相沉积
