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组合薄膜制备技术在热电材料中的应用

王群骄 , 张毅斌

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.04.013

"组合技术"是现代的新材料开发的手段.介绍了一些新的组合技术,如:"组合激光分子束外延技术"和"组合激光溅射制膜技术",并采用"组合激光溅射制膜技术",成功制备了高质量La1-xCexVO3 (0≤x≤1)成分梯度薄膜.采用组合热电测量系统和组合XRD系统测量了La1-xCexVO3(0≤x≤1)成分梯度薄膜的热电性能和晶体结构."组合激光溅射制膜技术"被证明是非常高效、精确的新材料薄膜研究方法,具有光明的前景.

关键词: 组合技术 , 组合激光溅射制膜技术 , 成分梯度薄膜 , 热电

基于组合薄膜制备技术的成分梯度薄膜(La1-xCax)VO3 (0≤x≤1)的制备和热电性能研究

王群骄 , 张毅斌

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2010.05.018

采用"组合激光溅射制膜技术",制备了高质量(La1-xCax)VO3 (0≤x≤1)成分梯度薄膜.采用组合热电测量系统和组合XRD系统测量了(La1-xCax)VO3 (0≤x≤1)成分梯度薄膜的热电性能和晶体结构.在0≤x≤1范围内,(La1-xCax)VO3 形成了固溶体.800℃生长的LaVO3薄膜具有最大的功率因数 (α)值0.6 μW/cm K2.V离子化学价对LaVO3的热电性能影响很大,当它由+3向+2变化时,可能获得良好的热电性能.

关键词: 成分梯度薄膜 , 热电 , 钒氧化物 , 组合激光溅射沉积技术

Pb(Zrx Ti1-x)O3成分梯度铁电薄膜的结构及性能

李建康 , 姚熹

复合材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-3851.2005.06.009

采用Sol-Gel方法,通过快速热处理,在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备出Pb(Zr,Ti)O3成分梯度薄膜.用俄歇微探针能谱仪(AES)对制备的上梯度薄膜进行了成分深度分析,证实其成分梯度的存在.XRD分析表明,制备的梯度薄膜为四方结构和三方结构的复合结构,但其晶面存在一定的结构畸变.介电温谱测试表明,随着温度的升高,梯度薄膜出现一个铁电-铁电相变点和两个居里点,同时出现一定的频率弥散现象.不同偏压下电滞回线的测试表明,梯度薄膜表现出良好的铁电性质.热释电性能测试表明,梯度薄膜的热释电系数随着温度的升高逐渐增加,并且其热释电系数比每个单元的热释电系数大.

关键词: 成分梯度薄膜 , 锆钛酸铅 , 介电温谱 , 热释电系数

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