黄德文
,
游利兵
,
梁勖
,
余吟山
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2009.01.007
针对光刻用准分子激光器的激励技术,利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析,验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用.耦合系数越接近于1,高压充电时间越短.介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程,并提出了一种控制谐振充电的方法.实现了对高压电容50μs内的快充电.
关键词:
激光技术
,
脉冲升压式电源
,
拉普拉斯变换
,
高重复率
,
光刻
