温佳星
,
王美涵
,
彭洋
,
王新宇
,
侯朝霞
,
王少洪
,
胡小丹
中国材料进展
doi:10.7502/j.issn.1674-3962.2016.01.08
氧化钨薄膜因其特殊的物理化学性质,在智能窗、传感器等诸多新领域具有广泛的应用前景.为使WO3薄膜气致变色特性得到良好的应用,需要制备新型纳米结构氧化钨薄膜.磁控溅射是工业制备WO3薄膜的有效方法之一.掠射角磁控溅射是在传统磁控溅射基础上发展的新型薄膜制备技术,通过将衬底倾斜一定角度,可制备出具有高结...
关键词:
WO3薄膜
,
磁控溅射
,
掠射角
,
纳米结构
,
气致变色
