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探测器级NTD硅单晶的研制

李强

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2001.03.020

介绍了探测器级 NTD 硅单晶的制作工艺，并对如何保证探测器级 NTD 硅单晶的质量进行了讨论。

关键词: 探测器级 , NTD , 硅单晶