闵嘉华
,
桑文斌
,
钱永彪
,
李万万
,
刘洪涛
,
樊建荣
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2005.02.028
使用金相显微镜、推力分析仪测试等手段研究了镀碳工艺参数对碳膜的表面形貌、碳膜和石英结合力的影响.获得了一个优化的镀碳工艺参数,即在镀碳温度为950～1100℃,气体流量为4～7ml/h,镀碳时间为6h,冷却时间为12h的条件下得到的碳膜较为均匀,而且和石英结合的较好.使用该工艺条件镀膜的石英管生长出的CdZnTe晶体表面光洁,位错密度低,约为4×104cm-2.
关键词:
镀碳
,
推力分析
,
CdZnTe晶体
