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不同Ti含量类石墨碳膜干摩擦磨损性能研究

丁兰 , 贺志勇 , 鲍明东 , 徐雪波 , 吴明英 , 张颖

表面技术 doi:10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2017.06.020

目的 提高高速钢的干摩擦学性能,探究不同Ti含量掺杂对类石墨碳膜摩擦性能的影响.方法 用非平衡磁控溅射离子镀技术制备了不同Ti含量的类石墨碳膜,用光学显微镜、扫描电子显微镜、Raman光谱、洛氏硬度计、纳米压痕仪等分析薄膜的微观结构和力学性能,用高速线性往复磨损试验机检测薄膜的干摩擦学性能,并用光学...

关键词: 掺Ti , 类石墨碳膜 , 微观结构 , 力学性能 , 摩擦系数 , 磨损率 , 磨损机理

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