肖立
,
王珏
,
严萍
绝缘材料
doi:10.3969/j.issn.1009-9239.2011.05.018
采用质谱分析法对真空沿面放电聚四氟乙烯分解产物进行研究,检测出σ断裂出现的聚四氟乙烯分解产物质量数峰值,证明了真空沿面放电过程中聚四氟乙烯存在表面分解现象.观测到闪络发生前聚四氟乙烯的超前分解现象,并从真空沿面放电产生气体来源出发对此现象进行了解释.给出了真空沿面闪络聚四氟乙烯分解产物数量的计算方法,虽实验检测结果与理论计算值存在误差,但对定量研究真空沿面放电产生气体提供了初步的线索.
关键词:
真空沿面放电
,
聚四氟乙烯
,
分解
,
放电产生气体
,
质谱分析
,
放电能量
鲁清
,
刘志东
,
田宗军
,
邱明波
,
黄因慧
人工晶体学报
提出一种以电火花放电加工技术对半导体硅材料进行铣削加工的方法,建立了半导体放电加工电路模型,测量了半导体放电加工放电通道的维持电压,其值为18V.在此基础上,从放电能量和ANSYS仿真两个方面对单晶硅电火花铣削的蚀除机理进行了研究.通过单位能量蚀除量的计算,并与45钢比较,得出单位能量单晶硅的蚀除量是45钢的4倍,由此提出了单晶硅蚀除是热蚀除和热应力剥落综合作用的结果;通过仿真分别计算出单脉冲放电温度场和热应力场的蚀除量,其热应力剥落是热蚀除的4.6倍,与基于能量计算的分析结果基本吻合.最后实验验证了分析结果的正确性.
关键词:
单晶硅
,
电火花铣削
,
维持电压
,
放电能量
,
蚀除机理
