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张果虎 , 常青 , 方锋 , 吴志强 , 周旗钢
稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.1998.01.017
在全自动拉晶条件下, 讨论了拉制Φ200 mm硅单晶遇到的新问题. 热场配置、工艺参数的选择、石英坩埚的选用等有了更严格的要求. 合理的轴向温度梯度和径向温度梯度、低拉速、低晶转及规范的拉晶工艺是拉制大直径单晶的关键.
关键词: Φ200 , mm硅单晶 , 无位错 , 热场 , 工艺参数 , 系统操作参数表
