陆雷
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肖定全
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田建华
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朱建国
功能材料
无铅压电陶瓷的制备和应用是过去10年左右国际上研究的热点之一.近年来,由于无铅压电陶瓷薄膜可望在信息、传感、航空、机械、生物、医学等行业获得广泛应用,这类薄膜的制备和应用研究也已引起国际上的关注,并推动着无铅压电陶瓷薄膜材料和制备技术的不断发展.结合作者的研究工作,概括介绍了无铅压电陶瓷薄膜材料的研究进展,包括主要的无铅压电陶瓷薄膜材料;这类薄膜的主要制备方法,特别是射频磁控溅射法、脉冲激光沉积法和溶胶-凝胶法;以及无铅压电陶瓷薄膜材料可能的器件应用.
关键词:
无铅压电陶瓷薄膜
,
薄膜制备技术
,
薄膜器件
曹洋
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朱孔军
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裘进浩
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庞旭明
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顾洪汇
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郑红娟
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季宏丽
材料导报
铌酸钾钠无铅压电陶瓷薄膜具有居里温度高、机电耦合系数高、介电常数低等优点,制备方法种类繁多.综述了铌酸钾钠薄膜的制备技术,包括溶胶一凝胶法、脉冲激光沉积法和磁控溅射法等;讨论了铌酸钾钠薄膜各种方法的制备工艺与功能性质的关系等,指出了各种制备技术的优缺点及发展现状;最后提出了目前铌酸钾钠薄膜制备及应用中存在的一些问题及今后的发展方向.
关键词:
铌酸钾钠薄膜
,
制备工艺
,
无铅压电陶瓷薄膜
