盛海见
,
吴育民
,
文永富
,
李根
,
程灏波
影像科学与光化学
doi:10.7517/j.issn.1674-0475.2017.02.099
针对微结构和微光学元件等微小物体的表面定量检测,本文介绍了一种利用无透镜数字全息的快速、无损的显微成像方法.首先介绍了基于球面波的无透镜数字全息显微成像技术的基本原理,采用CCD作为光电转换器件,基于迈克尔逊干涉光路,设计了无透镜数字全息显微成像系统,利用反射镜构成折反式光路,系统结构简单、紧凑,提升了系统便携性.然后利用USAF1951分辨率板对构建的成像系统进行了标定实验,得出其横向分辨率为6.69 μm,放大倍率为3.375,系统工作距离为12.0 mm.此外,还对晶圆表面结构进行实际测量.实验验证了该系统的可行性和有效性,有望进一步应用于MEMS、微光学元件、光学元件等表面形貌的定量测量中.
关键词:
无透镜数字全息
,
显微成像
,
光学表面检测
,
MEMS
王静
,
李洪来
,
刘美华
,
蔺金太
机械工程材料
开发了一种导电薄膜热膨胀系数的实时测试系统,即显微成像与数字图像相关方法相结合的测试系统.利用该系统在线实时测定了SnO_2导电薄膜的热胀系数随温度变化的关系曲线,并进一步可得到膜与基体间应力的变化规律.结果表明:该系统能较准确地测出SnO_2薄膜与陶瓷基体各向异性的热膨胀系数;根据试验结果及现有理论可以计算出基体与膜之间的最大应力以及基体内部的应力随温度的变化情况.
关键词:
SnO_2导电薄膜
,
显微成像
,
热膨胀系数
