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任意晶向的晶体切割及高平行度同心圆加工法

陈绍林 , 李冠告

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.1999.01.017

在晶体加工中,特殊晶向及晶体棱镜的切割一直是困扰加工者的一大难题.虽然通过一边研磨一边测量修正能够制作出器件,但是,要付出很大的工作量,而且晶体损失严重.又由于误差积累致使加工精度很难提高.另外,在晶体抛光过程中,平行度要达到1″～2″,光洁度在3级以上时,传统的光学玻璃加工工艺也是无法达到的.本文介绍一种解决这两个难题的新方法.

关键词: 晶体加工 , 晶体切割 , 晶体抛光