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高卓 , 胡跃辉 , 朱秀红 , 马占杰 , 周怀恩 , 陈光华
功能材料
通过对热丝辅助微波电子回旋共振(HW-MW-ECRCVD)法制备的氢化非晶硅(a-Si:H)薄膜进行暗电导与温度关系的测试,可得到暗电导激活能(Ea),并研究了Ea与a-Si:H薄膜光敏性(σph/σ d)的关系;发现随着Ea的增大,费米能级位置下移,缺陷态密度减少,薄膜的光敏性变好.
关键词: 氢化非晶硅薄膜 , 暗电导激活能 , 光敏性
