陈赟
,
梁立辉
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2004.06.013
目前,国内控制码盘、计量光栅图案刻制的机构是快门,原有的穿孔带式快门有很多缺点,为了避免这些缺点,对液晶光阀作为快门的可行性进行了研究.通过对抗蚀剂的感光特性、光源的光效与曝光量之间的关系进行理论推导,构建了它们之间的数学模型,对液晶光阀的特性进行分析并进行了曝光控制实验,为设计一种智能型液晶光阀曝光控制装置提供了理论依据.
关键词:
液晶光阀
,
光刻快门
,
感光特性
,
光效
,
曝光量
