谭春华
,
范广涵
,
许静
,
李述体
,
周天明
,
龙永福
,
孙慧卿
人工晶体学报
doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.01.014
扫描电子显微镜是对人工欧泊光子晶体进行形貌观察、研究的重要手段.本文利用扫描电子显微镜对人工欧泊晶体及其填充InP后的形貌进行了分析.结果发现,二氧化硅微球短程有序而在较大的区域则出现台阶、空位和失配等缺陷;在选定生长条件下,InP在SiO2球空隙间具有较高的填充率和较好的结晶质量.此项研究为制备三维InP光子晶体提供了科学依据.
关键词:
人工欧泊
,
光子晶体
,
有机金属化学气相沉积
,
扫描电子显微镜
常伟
,
范广涵
,
谭春华
,
李述体
,
雷勇
,
黄琨
,
郑品棋
,
陈宇彬
量子电子学报
doi:10.3969/j.issn.1007-5461.2006.06.025
制备了人工欧泊SiO2光子晶体模板并运用有机金属化学气相沉积(MOCVD)技术在SiO2光子晶体模板中生长填充了InP晶体.实验研究了不同成核温度(300℃,350℃,400℃)对于生长填充InP的影响.扫描电镜和反射谱分析结果显示,温度对于InP在SiO2光子晶体模板中的生长有重要影响.随着成核温度的升高,InP在SiO2光子晶体模板中的填充率随之降低.
关键词:
光电子学
,
有机金属化学气相沉积
,
光子晶体
,
人工欧泊
,
温度
