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未确认Mura分析及改善对策

徐伟 , 彭毅雯 , 肖光辉

液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20112605.0612

未确认Mura是一种能够影响TFT-LCD画面品质的不良.文章对未确认Mura不良进行了详细的分析,认为扇形区域出现有源层残留是导致未确认Mura不良发生的原因,介绍了一种通过变更曝光工艺条件来解决此种不良的方法,并通过试验论证了此方法的量产可行性.

关键词: 未确认Mura , 扇形区域 , 有源层残留 , 曝光工艺条件