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类金刚石膜的性质和制备及应用

张敏 , 程发良 , 姚海军

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.02.002

介绍了类金刚石膜的性能、制备方法以及应用.类金刚石膜(DLC)是由sp3键组态的碳和sp2键组态的碳混合组成的碳材料,由于具有与金刚石膜(DF)相似的性能--优异的光学特性、机械特性、电学特性和化学特性,同时现行制备方法(化学气相沉积,物理气相沉积等)相对容易实现,并且其产品已经应用到光学、医学、机械、电子等多个领域,因此引起人们极大兴趣.

关键词: 类金刚石膜(DLC) , 杂化轨道 , 性质 , 应用 , 制备 , 沉积

氮化过程中Ti薄膜的电子结构分析

王建军 , 粕壁善隆 , 刘春明

材料与冶金学报

建立不同类型的原子团簇模型,利用电荷自洽离散变分法计算了Ti薄膜中不同晶体结构的原子间化学键键能,分析了薄膜中晶体的局域态密度和全态密度,探讨了其电子结构和Ti-N原子间的交互作用变化.结果表明,N原子占据八面体间隙中心位置后,强Ti-N键的形成和原有Ti-Ti键的弱化,促使hcp-Ti中(00·1)面上的Ti原子沿着<01·0>方向发生迁移,成为hcp-fcc相变中fcc-Ti亚晶格形成的根源.随着进入hcp-Ti晶格中N原子数的增多,Ti-N结合键数目增加,N 2p/Ti 3d-4p杂化价电带的电子密度也随之增大,Ti的外层电子平均能量降低,保证了fcc-TiNy的稳定生长.

关键词: 氮化 , Ti薄膜 , 原子团簇 , 电荷自洽离散变分法 , 电子结构 , 杂化轨道

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